米銥光譜共焦型探頭*,自然界的日光屬白光一種,白光不是純潔的光,而是許多單色光組成的。光在不同介質(zhì)中傳播可能會(huì)有角度偏差的現(xiàn)象產(chǎn)生,而實(shí)際的白光照射下不同介質(zhì)將有很多單線光的折射。光學(xué)材料(透鏡)對(duì)于不同單色光的折射率是不同的,也就是折射角度不同波長(zhǎng)愈短折射率愈大,波長(zhǎng)愈長(zhǎng)折射率愈?。ㄟ@也是不同望遠(yuǎn)鏡所謂的色差不同的原因),同一薄透鏡對(duì)不同單色光,每一種單色光都有不同的焦距,按色光的波長(zhǎng)由短到長(zhǎng),它們的像點(diǎn)離開透鏡由近到遠(yuǎn)地排列在光軸上(不同的單色光的波長(zhǎng)是不同的)這樣成像就產(chǎn)生了所謂色差透鏡錯(cuò)誤。色差透鏡錯(cuò)誤使成像產(chǎn)生色斑或暈環(huán)。在攝影器材中,應(yīng)通過特殊處理,盡量消減色差透鏡錯(cuò)誤導(dǎo)致的成像問題。常用的消除方法有雙膠合系統(tǒng)與雙分離系統(tǒng)。
米銥光譜共焦型探頭由于光譜共焦傳感器的光路非常緊湊和集中,使其非常適合測(cè)量鉆孔結(jié)構(gòu)。而其他測(cè)量方式,如激光三角反射式測(cè)量,對(duì)于小孔往往無能為力,因?yàn)樾】仔纬傻年幱皶?huì)遮擋反射光的光路,無法進(jìn)行測(cè)量。針對(duì)這種小孔測(cè)量任務(wù),德國(guó)米銥公司推出了IFS 2402微型光譜共焦傳感器探頭。這種探頭擁有僅4mm的探頭直徑,可以探入小孔內(nèi)部進(jìn)行測(cè)量。
米銥光譜共焦型探頭白色光通過一個(gè)半透鏡面到達(dá)凸透鏡。上述特殊色差就在這里產(chǎn)生。光線照射到被測(cè)物體后發(fā)生反射,透過凸透鏡,返回到傳感器探頭內(nèi)的半透鏡上。半透鏡將反射光折射到一個(gè)穿孔蓋板上,小孔只允許聚焦反射光通過。透過穿孔蓋板的光是一組模糊光譜,也就是說若干不同波長(zhǎng)的光都有可能穿過小孔照在CCD感光矩陣單元上。但是只有在被測(cè)物體上聚焦的反射光擁有足夠光強(qiáng),在CCD感光矩陣上產(chǎn)生一個(gè)明顯的波峰。在穿孔蓋板后面,需要一個(gè)分光器測(cè)量反射光的顏色信息。分光器類似一個(gè)特制光柵,可以根據(jù)反射光的波長(zhǎng),增強(qiáng)或減弱折射率。因此,CCD矩陣上的每一個(gè)位置,對(duì)應(yīng)一個(gè)測(cè)量物體到探頭的距離。
米銥光譜共焦型探頭另一種非常適合光譜共焦傳感器的應(yīng)用是測(cè)
量多層透明材料的厚度。與其他測(cè)量方法不同,光譜共焦傳感器在測(cè)量這種物體時(shí),僅需要一支探頭就可以完成測(cè)量。測(cè)量被測(cè)物體前端面和后端面的反射光,從而得到層厚信息。由于測(cè)量只使用白光,無需額外附加激光安全措施。由于探頭本身不含有任何電路,傳感器探頭還可以被用于有防爆要求的環(huán)境或者有電磁干擾要求的環(huán)境。而控制器可以被放置于安全距離以外。允許長(zhǎng)50m的光纖連接探頭和控制器。但是,需要禁止在光路上存在遮擋物或小顆粒,這會(huì)影響測(cè)量精度,甚至使測(cè)量變得不可完成。由于采用的是光學(xué)測(cè)量方法,探頭到被測(cè)物體的距離也有一定限制。
米銥光譜共焦型探頭使用光譜共焦測(cè)量技術(shù),可以得到超高分辨率。納米級(jí)分辨率源于上述經(jīng)過特殊處理得到的加長(zhǎng)光譜范圍。由于采用檢測(cè)焦點(diǎn)的顏色,得到距離信息,光譜共焦傳感器可以采用非常小的測(cè)量光斑,從而允許測(cè)量非常小的被測(cè)物體。這也意味著,即使被測(cè)表面有非常輕微的劃痕,也逃不過光譜共焦傳感器的眼睛。
由于光譜共焦傳感器的光路非常緊湊和集中,使其非常適合測(cè)量鉆孔結(jié)構(gòu)。而其他測(cè)量方式,如激光三角反射式測(cè)量,對(duì)于小孔往往無能為力,因?yàn)樾】仔纬傻年幱皶?huì)遮擋反射光的光路,無法進(jìn)行測(cè)量。針對(duì)這種小孔測(cè)量任務(wù),德國(guó)米銥公司推出了IFS 2402微型光譜共焦傳感器探頭。這種探頭擁有僅4mm的探頭直徑,可以探入小孔內(nèi)部進(jìn)行測(cè)量。
米銥光譜共焦型探頭由于光譜共焦傳感器的光路非常緊湊和集中,使其非常適合測(cè)量鉆孔結(jié)構(gòu)。而其他測(cè)量方式,如激光三角反射式測(cè)量,對(duì)于小孔往往無能為力,因?yàn)樾】仔纬傻年幱皶?huì)遮擋反射光的光路,無法進(jìn)行測(cè)量。針對(duì)這種小孔測(cè)量任務(wù),德國(guó)米銥公司推出了IFS 2402微型光譜共焦傳感器探頭。這種探頭擁有僅4mm的探頭直徑,可以探入小孔內(nèi)部進(jìn)行測(cè)量。
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日本品牌:SMC、喜開理CKD、神視SNUX、富士FUJI、歐姆龍OMRON、基恩士KEYENCE、小金井KOGANEI、東機(jī)美、橫河、豐興TOYOOKI,油研YUKEN、安川Yaskawa、發(fā)那科FANUC、住友等。
法國(guó)品牌:施耐德SCHNEIDER、凱茂KIMO、高諾斯CROUZTE。
韓國(guó)品牌:YPC、YSC、TKC、TPC、YTC、奧托尼克斯AUTONICS。
意大利品牌:UNIVER、阿托斯ATOS、康茂勝COMOZZI、迪普馬DUPLOMATIC、紐邁斯PNEUMAX、??嗣姥窫icmation、意爾創(chuàng)ELTRA、馬祖奇Marzocchi、GEFRAN杰夫倫等。
中國(guó)臺(tái)灣品牌:金器MINDMAN,長(zhǎng)拓CHANTO等。